ASTM F533-2002a 硅片的厚度及厚度变化的标准试验方法

作者:标准资料网 时间:2024-04-29 13:46:00  浏览:9227   来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardTestMethodforThicknessandThicknessVariationofSiliconWafers
【原文标准名称】:硅片的厚度及厚度变化的标准试验方法
【标准号】:ASTMF533-2002a
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;硅
【英文主题词】:semiconductor;silicon;thickness;thicknessvariation;totalthicknessvariation;wafer
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoversmeasurementofthethicknessofsiliconwafers,polishedorunpolished,andestimationofthevariationinthicknessacrossthewafer.1.2
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:5P.;A4
【正文语种】: